型号：FT9300
测量对象：镀金,镀银,镀镍,镀锡,镀铜
工作原理：
测量范围(Hm)：0.01μm
低限分辨率：50nm
可测镀层最薄厚度：15 μm
高速X射线管球的搭载，实现了高精度的测定。而且配合极微小准直器和光学变焦镜头可以实现极微小部分的测定。更可以对有高低平面差异的样品进行测定。
搭载了75W高性能X射线管。
搭载标准的Φ50 μm微小准直管（最小Φ15 μm）。
容易对微小领域进行观察。搭载了能4阶段切换的可变焦距光学系统。
依据照明能很容易对以前观察困难的样品进行观察。
搭载了防止有凹凸的样品碰撞的传感器。
搭载了焦点切换功能，能够对有高度的样品的低部分进行测定。
利用伺服马达精确的驱动平台。
运用激光聚焦功能简单实现位置的调整。
| 型号 | FT9300 | FT9350 | FT9355 |
|---|---|---|---|
| 测量元素 | 原子序号Ti（22）～Bi（83） 原子序号21以下的元素可通过吸收法测量 | ||
| X射线源 | 空冷式小型X射线管 管电压：50（可变更）kV 管电流： 10～1000 µA | ||
| 检测器 | 比例计数管 | ||
| 准直器 | ○型： 0.05, 0.1, 0.2 mmΦ □型： 0.025 x 0.2, 0.2 x 0.025 mm | ||
| 样品观察 | CCD摄像头+变焦光学系统 | ||
| X射线聚光 | 激光对焦 | ||
| 滤波器 | 一次滤波器： Mo－自动切换 二次滤波器： Co－自动切换 | ||
| 样品区域 | X:240 mm, Y:170 mm X:220 mm, Y:150 mm, Z:150 mm | X:430 mm, Y:330 mm X:400 mm, Y:300 mm, Z:50 mm | X:700 mm, Y:600 mm X:400 mm, Y:300 mm, Z:15 mm |
| 测量软件 | 薄膜FP法（最大5层、10种元素）、检量线法、块体FP法（材料组成分析） | ||
| 安全功能 | 样品室门联锁、样品冲突防止功能、仪器诊断功能 | ||
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