浅析膜厚仪标准片的分类和校准办法

　　膜厚仪标准片主要用于检验电解测厚仪的准确性，该标准片经保护材料研究所检验认证，为电解测厚仪厚度标准检验片，由于产品精度高，均匀性好，在电镀行业中一直作为厚度的统一标准而得到大量的使用。测厚仪标准片又名膜厚仪校准片或者薄膜片，专业用于X射线测厚仪(膜厚仪)在测金属镀层厚度时进行的仪器标准化校准及建立测量分析档案。

　　膜厚仪标准片一般分为单镀层片，双镀层片、多镀层片、合金镀层片、化学镀层片。例如：单镀层：Ag/xx，双镀层：Au/Ni/xx，三镀层：Au/Pd/Ni/xx，合金镀层：Sn-Pb/xx，化学镀层：Ni-P/xx。

　　膜厚仪标准片校准：

　　1.校准箔

　　对于磁性方法，“箔”是指非磁性金属或非金属的箔或垫片。对于涡流方法，通常采用塑料箔。“箔”有利于曲面上的校准，而且比用有覆盖层的标准片更合适。

　　2.基体

　　(a)对于磁性方法，膜厚仪标准片基体金属的磁性和表面粗糙度，应与待测试件基体金属的磁性和表面粗糙度相似。对于涡流方法，标准片基体金属的电性质，应当与待测试件基体金属的电性质相似。为了证实标准片的适用性，可用标准片的基体金属与待测试件基体金属上所测得的读数进行比较。

　　(b)如果待测试件的金属基体厚度没有超过表一中所规定的临界厚度，可采用下面两种方法进行校准：

　　(1)在与待测试件的金属基体厚度相同的金属标准片上校准;

　　(2)用一足够厚度的，电学性质相似的金属衬垫金属标准片或试件，但必须使基体金属与衬垫金属之间无间隙。对两面有覆盖层的试件，不能采用衬垫法。

　　(3)如果待测覆盖层的曲率已达到不能在平面上校准，则有覆盖层的标准片的曲率或置于校准箔下的基体金属的曲率，应与试样的曲率相同。

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